دستگاه پوشش اسپری نیمه هادی فوق صوتی

دستگاه پوشش اسپری نیمه هادی فوق صوتی

Ultrasonic semiconductor atomization spraying is a precision thin-film deposition technology that uses high-frequency ultrasonic energy to atomize semiconductor materials (such as photoresists and conductive materials) into fineاین قطرات پس از آن با استفاده از یک گاز حامل به دقت بر روی سطح بستر پاشیده می شوند و در نتیجه پوشش های نازک و یکنواخت با کیفیت بالا تولید می شوند.این تکنولوژی مزایای زیادی دارد مانند بهره وری بالااین روش به طور گسترده ای در تولید نیمه هادی، انرژی جدید و پوشش های شیشه ای استفاده می شود و جایگزین روش های اسپری سنتی می شود.

اصل کار

1. اتوميزاسيون فوق صوتي:

هسته ی این دستگاه نوزل فوق صوتی است که حاوی یک ترانسدوسر است که انرژی الکتریکی را به لرزش های مکانیکی فرکانس بالا تبدیل می کند.

2. اتوميزاسيون مايع:

هنگامی که مایع (حلول، سول یا تعلیق) از طریق نوزل جریان می یابد، اتمایزر لرزان لرزش ایجاد می کند. هنگامی که دامنه لرزش از تنش سطحی مایع بیشتر شود،مایع به قطرات کوچک شکسته می شود..

3. انتقال گاز حامل:

سپس قطرات ذرات شده به طور مساوی توسط مقدار از پیش تعیین شده گاز حامل (مانند هوا) به سطح بستر منتقل می شوند.

4. تثبيت فيلم نازک:

قطرات بر روی بستر قرار می گیرند و پوشش باریک مداوم را تشکیل می دهند.

مزایای کاربرد نیمه هادی

دقت بالا و یکسانی:

توانایی قرار دادن پوشش های فیلم نازک فوق العاده نازک و یکنواخت برای کاربردهای تولید نیمه هادی، مانند photoresists، فیلم های رسانا و فیلم های عایق بندی، بسیار مهم است.که نیاز به دقت بسیار بالایی دارند.

کاهش از دست دادن مواد:

در مقایسه با اسپری سنتی، اسپری ماوراء صوت تقریبا هیچ قطره پرتاب یا اسپری بیش از حد تولید نمی کند، استفاده از مواد را چندین برابر افزایش می دهد،که آن را به ویژه برای پوشش مواد گران قیمت مناسب می کند.

اسپری نرم:

فرآیند اسپری کردن ملایم است و به زیربنای آن آسیب نمی رساند، بنابراین برای مواد نیمه هادی شکننده و اجزای الکترونیکی مناسب است.

فنجان های متنوع:

نوزل های دارای عرض، طول، شکل و سرعت جریان مختلف را می توان برای پاسخگویی به الزامات خاص برنامه انتخاب کرد و پوشش یکنواخت مناطق محلی یا بزرگ را امکان پذیر می کند.